6點(diǎn)介紹INFICON電離真空計(jì)校準(zhǔn)時(shí)需要注意的事項(xiàng)

電離真空計(jì)是基于在一定條件下，待測氣體的壓力與氣體電離產(chǎn)生的離子流呈正比關(guān)系的原理制作的真空測量儀器。

由筒狀收集極，柵網(wǎng)和位于柵網(wǎng)中心的燈絲構(gòu)成，筒狀收集極在柵網(wǎng)外面。熱陰極發(fā)射電子電離氣體分子，離子被收集極收集，根據(jù)收集的離子流大小來測量氣體壓強(qiáng)的真空計(jì)。

INFICON電離真空計(jì)的校準(zhǔn)的注意事項(xiàng)

真空計(jì)按測量性質(zhì)可分為絕對真空計(jì)和相對真空計(jì)。所謂絕對真空計(jì)就是通過測量物理量本身確定壓力的一種真空計(jì),例如u型壓力計(jì)、壓縮式真空計(jì)就是絕對真空計(jì)。通過測量與壓力有關(guān)的物理量并與絕對真空計(jì)比較來確定壓力的真空計(jì)稱為相對真空計(jì)。我們校準(zhǔn)的電離真空計(jì)、電容薄膜真空計(jì)、熱傳導(dǎo)真空計(jì),都是相對真空計(jì)。

電離規(guī)管的結(jié)構(gòu)為一個(gè)圓筒型三極管,它有三個(gè)電極:陰極f發(fā)射電子;柵極a加速電子,收集極c收集離子。一般陰極加零電位,柵極加正電位,收集極加負(fù)電位。它的優(yōu)點(diǎn)主要是能夠測量氣體與蒸氣的全壓強(qiáng);反應(yīng)迅速,可連續(xù)讀數(shù)和遠(yuǎn)距離控制;量程寬,線性好,測量精度較高。缺點(diǎn)主要是在壓強(qiáng)高于10-1pa時(shí),容易氧化燈絲,一旦系統(tǒng)突然暴露大氣會(huì)燒壞規(guī)管;玻殼、電極的放氣導(dǎo)致測量的誤差。

校準(zhǔn)電離真空計(jì)時(shí),應(yīng)注意以下六點(diǎn):

（1）一般情況下,規(guī)管和系統(tǒng)連接時(shí),先將未開封的規(guī)管和測量電路連接到一起試一下,檢查規(guī)管是否正常,然后再接到系統(tǒng)。

（2）在校準(zhǔn)的過程中,如果出現(xiàn)故障,在原因不明的情況下,拿一支未開封的規(guī)管試一下,判斷是規(guī)管的問題,還是電路的問題。如果換上未開封的規(guī)管一切正常,說明原規(guī)管有問題;如果換上未開封的規(guī)管仍然不正常,說明電路有問題,這樣就縮小了故障的范圍。

（3）規(guī)管安裝時(shí)應(yīng)豎直安裝,否則在加熱除氣,烘烤時(shí)柵極和陰極產(chǎn)生變形,相對位置變化,將會(huì)嚴(yán)重影響測量精度。

（4）在開燈絲前,判斷被測真空系統(tǒng)中的真空度確信小于10-1pa時(shí),才能開燈絲,否則真空度太低,導(dǎo)致規(guī)管陰極氧化而燒毀。

（5）在讀數(shù)之前,應(yīng)先調(diào)整好發(fā)射電流、零點(diǎn)及滿度。具體步驟是:發(fā)射電流—零點(diǎn)—滿度—發(fā)射電流。

（6）電離真空計(jì)只需要加電預(yù)熱10分鐘就可以校準(zhǔn)了。

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